Kinerja utama sareng fitur struktur:
1.Area dénsitas méteran jeung paeh bisa ngabentuk aclosed-loop kontrol.
Sistim 2.CCD kalawan kontrol loop katutup pikeun deteksi dimensi.
3. Tempelkeun pita terminasi dina tailing.
4.Double lapisan slurry bisa coated dina sisi sarua substrat.
5.Gawé bareng jeung sistem MES sarta managere kontrol awan mote pikeun alat-alat.

Ngawaskeun kualitas sareng eupan balik:
1.Area dénsitas méter dina X / B ray pikeun deteksi on-line.
Sistim 2.CCD pikeun dimensi na deteksi cacad.
3.NG tanda inkjet print.
pangukuran 4.Temperature via IR dina beungeut éléktroda jero oven.
5.The flowmeter massa monitor online pikeun aliran, viskositas jeung hawa.
6.NMP konsentrasi monitoring pikeun katoda oven jeung deteksi asor pikeun oven anoda.